يُستخدَم توليد الإشعاع فوق البنفسجي الفائق (EUV) في الغازات ـ القائم على الليزر المؤدي إلى توليد الضوء بترددات ذات تنظيم توافقات خاصة بتردد الليزر الأساسي ـ بكثرة
المصدريُستخدَم توليد الإشعاع فوق البنفسجي الفائق (EUV) في الغازات ـ القائم على الليزر المؤدي إلى توليد الضوء بترددات ذات تنظيم توافقات خاصة بتردد الليزر الأساسي ـ بكثرة
المصدر